میکروسکوپ نیروی الکتروستاتیک

میکروسکوپ نیروی الکتروستاتیک
سطح مقاله

پیشرفته 2
کلمات کلیدی

میکروسکوپ نیروی الکترواستاتیک
ميكروسكوپ پروبي روبشي
نيروي الكترواستاتيك
EFM
امتیاز کاربران

۳ امتیاز از ۵ (۲ رای)

میکروسکوپ نیروی الکتروستاتیک

میکروسکوپ نیروی الکتروستاتیک (EFM) یکی از اعضاي خانواده میکروسکوپ‌های پروبی روبشی است. در این ميكروسكوپ با اندازه‌گیری برهم‌کنش الکتروستاتیکی موضعي بین نوک سوزن رسانا و نمونه، نقشه ویژگی‌های الکتریکی نمونه به تصویر کشیده می‌شود. برای این منظور، یک ولتاژ بایاس بین نوک سوزن و نمونه اعمال می‌شود. از این ولتاژ برای ایجاد میدان الکتروستاتیک بین نوک سوزن و پایه و نیز برای میزان کردن این میدان استفاده می‌شود. . فاز و فرکانس رزونانس تیرک با شیب شدت میدان الکتریکی تغییر کرده و برای ساخت تصویر EFM مورد استفاده قرار می‌گیرد. همچنین EFM می‌تواند برای تشخیص مناطق عایق و رسانا در نمونه استفاده شود. تصاویر EFM حاوی اطلاعات سودمندی درباره خواص الکتریکی نمونه مانند پتانسیل و توزیع بار در سطح نمونه بوده و یک ابزار سودمند برای آزمایش تراشه‌های ریزپردازنده زنده در مقیاس زیر میکرون است.
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- اصول روش EFM
3- انواع پروب‌های مورد استفاده در میکروسکوپ نیروی الکترواستاتیک
4- انواع حالت‌های EFM
 1-4- حالت بالارونده، ارتفاع ثابت
 2-4- بایاس متغیر، انحراف ثابت
5- نیروی کل بین نوک سوزن و نمونه

 


جهت دانلود بر روی فایل صوتی کلیک راست کنید و
Save As را انتخاب کنید



لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید

منابـــع و مراجــــع
۱ - M. NakamuraH.Yamada, "Road map of Scanning probe microscopy", 2006, Springer.
۲ - www.parkafm.com "Park Systems, mode note".
۳ - www.eng.utah.edu Lecture 15: "Two special modes for AFM: Electrostatic Force Microscopy (EFM)Magnetic Force Microscopy (MFM)".
۴ - www.amplegoal.com.
۵ - J. Liu, "Phys. Chem." C 2009, 113, 9368-9374.
۶ - L. Chen, L. Brus, et al. J. "Phys. Chem". B 2005, 109, 1834-1838.
۷ - O. Cherniavskaya, L. Brus, el al. J. "Phys. Chem." B 2004, 108, 4946-4961.
۸ - Y. Hirata, F. Mizutani, H. Yokoyama, "Surf. Int. Anal." 27, 317 (1999).
۹ - G. E. Bridges et. al., J. Vac. Sci. "Technol." A 16, 830 (1998).
۱۰ - V. Wittpahl et. al., "Microelectron". Reliab. 39, 951 (1999).
۱۱ - S. Kitamura, K. Suzuki, M. Iwatsuki, "Appl. Surf. Sci." 140, 265 (1999).
۱۲ - N. Satoh et. al. "Appl. Surf. Sci." 188, 425 (2002).
۱۳ - T. Ohta, Y. Sugawara, S. Morita, Jap. J. "Appl. Phys." 35, L1222 (1996).
۱۴ - D. Gekhtman et. al., "Mater. React. Soc. Proc." 545, 345 (1999).
۱۵ - M. Nakamura et. al., "Synth. Metals" 137, 887 (2003).
۱۶ - M. Nakamura et. al., "Appl. Phys. Lett." 86, 122112 (2005).
۱۷ - M. Nakamura et. al., "Proceedings of International Symposium on Super Functionality Organic Devices. IPAP Conference Series" 6, 130 (2005).
ارسال نظر