مقدمه ای بر روش نانولیتوگرافی
مقدمه ای بر روش نانولیتوگرافی
با پیشرفت روزافزون فناوری، ساخت و توسعه ابزارهای الکترونیکی با ابعاد کوچک‌تر، سرعت بالاتر، خواص مطلوب‌تر و کارایی بهتر نیز بهبود یافته است. در این راستا، کار‌های تحقیقاتی فراوانی برای توسعه روشهای ساخت مبتنی بر فناوری نانو انجام شده است. لیتوگرافی یکی از روشهای متداول برای ساخت مدارهای الکترونیکی است. این روش با گسترش ابزارهایی مانند میکروسکوپ‌های الکترونی و میکروسکوپ‌های پروب روبشی توسعه یافته است، به‌طوری‌که امروزه می‌توان با استفاده از آن ساختارهایی با ابعاد 10 نانومتر با دقت و کیفیت بالا تولید کرد. محققان می‌کوشند تا با تجاری‌سازی و تولید انبوه تجهیزات نوین لیتوگرافی هزینه تولید قطعات را کاهش دهند. در این مقاله به مباحث پایه و معرفی کلی انواع روشهای لیتوگرافی پرداخته می‌شود. همچنین روش لیتوگرافی نوری به عنوان متداول‌ترین روش سنتی تشریح شده و معایب و مزایای آن در مقایسه با روشهای دیگر لیتوگرافی مورد بررسی قرار می‌گیرد.
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- معرفی لیتوگرافی
3- تقسیمبندی روشهای لیتوگرافی
1-3- لیتوگرافی نوری
2-3- محدودیت لیتوگرافی نوری
4- توسعه روشهای لیتوگرافی
5- نتیجه‌گیری
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- معرفی لیتوگرافی
3- تقسیمبندی روشهای لیتوگرافی
1-3- لیتوگرافی نوری
2-3- محدودیت لیتوگرافی نوری
4- توسعه روشهای لیتوگرافی
5- نتیجه‌گیری
لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
۱ - Edelstein, A.S., Cammarata, R.C. “Nanomaterials:Synthesis, PropertiesApplications”, USA, Institute of Physics Publishing, (1996).
۲ - Guo, Z., Tan, L. “FundamentalsApplications of Nanomaterials”, USA, Artech House, (2009).
۳ - Pradeep, T. “Nano: The Essential”, New Delhi, Tata McGraw-Hill Publishing Company, (2007).
۴ - Hannink, R. H. J., Hill, A.J. “Nanostructure control of materials”, USA, CRC press, (2006).
۵ - Geckeler, K.E., Nishide, H. “Advanced Nanomaterials”, VOL.1, UK, WILEY-VCH Verlag GmbH & Co., (2010).
۶ - Yang, L., Akhatov, I., Mahinfalah, M., Jang Z.B. “Nano-Fabrication: A Review”, Journal of the Chinese Institute of Engineers, VOL.30, No.3, pp. 441-446 (2007).
۷ - Levinson, H.J. “Principles of Lithography”, Third Edition, USA, SPIE Press, (2010).
اللهی
۱۴۰۰/۰۷/۲۱سلام بسیار خوب ولی منابع مقاله آورده نشده. این کار برای استفاده بیشتر محققان لازم وضروری است. متشکرم