لیتوگرافی میکروسکوپ پروب روبشی-Scanning Probe Lithography
لیتوگرافی میکروسکوپ پروب روبشی-Scanning Probe Lithography
با ظهور و پیشرفت فناوری نانو، بسیاری از محققان همواره به‌دنبال دستیابی به روشی برای ایجاد تغییر در ساختارهای اتمی و جابجایی اتم‌ها به مناطق دلخواه بوده‌اند. گسترش میکروسکوپ‌های پروب روبشی که دقت و وضوح بسیار بالایی داشته و برای آنالیز و تصویربرداری سطوح در ابعاد کمتر از 1 نانومتر استفاده می‌شوند، اجرای چنین ایده‌هایی را ممکن ساخته است. امروزه برای نانولیتوگرافی از میکروسکوپ‌های پروب روبشی مانند میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM [Atomic Force Microscopy]) و میکروسکوپ تونلی روبشی (STM [Scanning Tunneling Microscopy]) استفاده می‌شود که همگی زیرمجموعه‌ای از روش لیتوگرافی پروب روبشی ([Scanning Probe Lithography] SPL) هستند. در این روش‌ها، میکروسکوپ‌ها نقش خراشیدن و کندن اتم‌های سطحی در مناطق خاص، حکاکی یا جابجایی موضعی برخی از اتم‌ها با اتم‌های دیگر، و همچنین تصویربرداری هم‌زمان از سطح ایفا می‌کنند. در این مقاله، به طور اجمالی به معرفی نانولیتوگرافی با استفاده از میکروسکوپ‌های پروب روبشی پرداخته می‌شود و عوامل مؤثر بر آن مورد بحث و بررسی قرار می‌گیرد. سپس انواع میکروسکوپ‌های مورد استفاده در نانولیتوگرافی، مانند AFM و STM و نیز مکانیزم‌های ایجاد خراش،کاربردها، مزایا و معایب این روش‌ها به طور مفصل مورد مطالعه قرار می‌گیرد.
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- نانولیتوگرافی با استفاده از میکروسکوپ‌های تونلی روبشی (STM)
3- نانولیتوگرافی با استفاده از میکروسکوپ AFM
1-3- ایجاد خراش و نانوشیار
2-3- نانو‌پیوند‌زنی
3-3- نانوقلم خواننده و نگارنده
4- نتیجه‌گیری
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- نانولیتوگرافی با استفاده از میکروسکوپ‌های تونلی روبشی (STM)
3- نانولیتوگرافی با استفاده از میکروسکوپ AFM
1-3- ایجاد خراش و نانوشیار
2-3- نانو‌پیوند‌زنی
3-3- نانوقلم خواننده و نگارنده
4- نتیجه‌گیری
لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
۱ - Zhang, J.Z., Wang, Z.L., Liu, J., Chen, S., Liu, G.Y. “Self-Assembled Nanostructures”, USA, Kluwer Academic Publishers, (2004).
۲ - Ventra, M.D., Evoy, S., Heflin‚ J.R. “Introduction to Nanoscale ScienceTechnology”, USA, Kluwer Academic Publishers, (2004).
۳ - Edelstein, A.S., Cammarata, R.C. “Nanomaterials:Synthesis, PropertiesApplications”, USA, Institute of Physics Publishing, (1996).
۴ - Guo, Z., Tan, L. “FundamentalsApplications of Nanomaterials”, USA, Artech House, (2009).
۵ - Mongillo, J. “Nanotechnology 101”, UK, GreenWood Press, (2007).
