فناوری انباشت لیزری در ساخت لایه های نانو و میکروساختار
فناوری انباشت لیزری در ساخت لایه های نانو و میکروساختار
انرژی حاصل از تابش پرتو لیزر برای تبخیر (یا کندوپاش) و لایه‌نشانی طیف وسیعی از مواد مورد استفاده قرار می‌گیرد. این روش زیرمجموعه‌ای از روش‌های لایه‌نشانی فیزیکی به‌شمار می‌رود. در این مقاله، به طور اجمالی به معرفی انباشت لیزری و رسوب‌دهی با لیزر پالسی پرداخته می‌شود و عوامل موثر بر آن مورد بحث و بررسی قرار می‌گیرد. سپس انواع برهم‌کنش‌های لیزر-هدف، دینامیک مواد کنده‌شده از نمونه، انباشت مواد کنده‌شده روی زیرلایه و هم‌چنین هسته‌زایی و رشد پوشش روی زیرلایه به‌طور مفصل مورد مطالعه قرار خواهند گرفت. در نهایت پارامترهای مهم لیزر مانند طول موج و مزایا و معایب روش لایه‌نشانی با لیزر بررسی خواهند شد.
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- لایه‌نشانی لیزر پالسی (Pulsed Laser Deposition)
1-2- برهم‌کنش لیزر- هدف
1-1-2- کندوپاش
2-1-2- فرآیند حرارتی
3-1-2- فرآیند الکترونیکی
2-2- دینامیک مواد کنده شده از سطح نمونه
3-2- انباشت مواد کنده شده روی زیرلایه
4-2- هسته‌زایی و رشد لایه روی زیرلایه
3- پارامترهای مهم در لیزر
1-3- طول موج
2-3- مدت پالس
3-3- آهنگ تکرار پالس
4-3- انرژی پالس
5-3- پروفیل باریکه
4- مزایای روش لایه‌نشانی لیزر پالسی
5- معایب لایه‌نشانی لیزر پالسی
نتیجه‌گیری
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- لایه‌نشانی لیزر پالسی (Pulsed Laser Deposition)
1-2- برهم‌کنش لیزر- هدف
1-1-2- کندوپاش
2-1-2- فرآیند حرارتی
3-1-2- فرآیند الکترونیکی
2-2- دینامیک مواد کنده شده از سطح نمونه
3-2- انباشت مواد کنده شده روی زیرلایه
4-2- هسته‌زایی و رشد لایه روی زیرلایه
3- پارامترهای مهم در لیزر
1-3- طول موج
2-3- مدت پالس
3-3- آهنگ تکرار پالس
4-3- انرژی پالس
5-3- پروفیل باریکه
4- مزایای روش لایه‌نشانی لیزر پالسی
5- معایب لایه‌نشانی لیزر پالسی
نتیجه‌گیری
لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
۱ - Voevodin, A. A.,M. S. Donley. "Preparation of amorphous diamond- carbon by pulsed laser deposition: a critical review." SurfaceCoatings Technology 82, no. 3 (1996): 199-213.
۲ - Voevodin, A. A., M. S. Donley,J. S. Zabinski. "Pulsed laser deposition of diamond- carbon wear protective coatings: a review." SurfaceCoatings Technology 92, no. 1-2 (1997): 42-49.
۳ - Phillips, Katherine C., Hemi H. Gandhi, Eric Mazur,S. K. Sundaram. "Ultrafast laser processing of materials: a review." Advances in OpticsPhotonics 7, no. 4 (2015): 684-712.
۴ - Ahmed, Naveed, Saied Darwish,Abdulrehman M. Alahmari. "Laser ablationlaser-hybrid ablation processes: a review." MaterialsManufacturing Processes 31, no. 9 (2016): 1121-1142.
۵ - Yang, Zhibin, Jianhua Hao, Shuoguo Yuan, Shenghuang Lin, Hei Man Yau, Jiyan Dai,Shu Ping Lau. "Field‐effect transistors based on amorphous black phosphorus ultrathin films by pulsed laser deposition." Advanced Materials 27, no. 25 (2015): 3748-3754.
۶ - Eason, Robert. Pulsed laser deposition of thin films: applications-led growth of functional materials. John Wiley & Sons, 2007.
