بررسي مواد در مقياس نانو با استفاده از ميكروسكوپ ظرفيتي روبشي
بررسي مواد در مقياس نانو با استفاده از ميكروسكوپ ظرفيتي روبشي
ميكروسكوپ ظرفيتي روبشي يكي از انواع ميكروسكوپ‌های پروبي روبشي است كه در آن يك پروب الكترودي نازك، سطح نمونه را روبش می‌کند. در این روش با استفاده از اطلاعاتی که از تغییر ظرفیت الکترواستاتیک بین سطح و پروب حاصل می‌شود، سطح نمونه مورد بررسی و شناسایی قرار می‌گیرد.
ميكروسكوپي ظرفيتي روبشي، روشي غيرمخرب است كه براي شناسايي و بررسي نمونه‌هاي نيمههادي مورد استفاده قرار مي‌گيرد. یکی از كاربردهاي تجاری ميکروسکوپ ظرفيتی روبشی، تصويربرداری از ناخالصی‌ها در قطعات نيمههادي است. اين ميكروسكوپ مي‌تواند براي اندازه‌گيري چگالي حامل‌هاي بار با دقتی در مقياس نانومتر نیز استفاده شود. توانایی این روش در تصویربرداری از توزیع بار با توان تفكيك و حساسیت بسیار بالا سبب شده‌است كه به‌عنوان روشي با ارزش براي شناسايي نانومواد محسوب شود.
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- اصول كار ميكروسكوپ ظرفيتي روبشي
3- آماده‌سازی نمونه
4- ویژگی پروب‌های SCM
ميكروسكوپي ظرفيتي روبشي، روشي غيرمخرب است كه براي شناسايي و بررسي نمونه‌هاي نيمههادي مورد استفاده قرار مي‌گيرد. یکی از كاربردهاي تجاری ميکروسکوپ ظرفيتی روبشی، تصويربرداری از ناخالصی‌ها در قطعات نيمههادي است. اين ميكروسكوپ مي‌تواند براي اندازه‌گيري چگالي حامل‌هاي بار با دقتی در مقياس نانومتر نیز استفاده شود. توانایی این روش در تصویربرداری از توزیع بار با توان تفكيك و حساسیت بسیار بالا سبب شده‌است كه به‌عنوان روشي با ارزش براي شناسايي نانومواد محسوب شود.
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- اصول كار ميكروسكوپ ظرفيتي روبشي
3- آماده‌سازی نمونه
4- ویژگی پروب‌های SCM
5- عوامل مؤثر بر تکرارپذیری نتایج
نتیجه‌گیری
نتیجه‌گیری
جهت دانلود بر روی فایل صوتی کلیک راست کنید و Save As را انتخاب کنید
لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
۱ - - James R. Matey Blanc, "Scanning Capacitance Microscopy". Journal of Applied Physics", 57 (5): (1985), 1437–1444.
۲ - www.parkAFM.com, "Scanning Capacitance Microscopy (SCM)", Nanotechnology Solutions Partner JOUR, 114-117
۳ - Ligor Octavian, "Reliability of the Scanning Capacitance MicroscopySpectroscopy for the nanoscale characterization of semiconductorsdielectrics", these for Institut national des sciences appliquées, Lyon; Publication year: 2010
۴ - http://www.ntmdt.com/spm-principles/view/scanning-capacitance-microscopy
۵ - Andy Erickson, Peter Harris Multiprobe "Scanning Capacitance Microscopy", MultiProbe JOUR.
۶ - MARIA VIRGINIA STANGONI, "Scanning Probe Techniques for Dopant Profile Characterization", A dissertation submitted to the Swiss federal institute of technology Zurich, 2005
۷ - Natasja Duhayon, "Experimental studyoptimization of scanning capacitance microscopy for two-dimensional carrier profiling of submicron semiconductor devices", these for Departement Natuurkunde en Sterrenkunde Celestijnenlaan, 2006
