بازتاب سنج پرتو ایکس XRR
بازتاب سنج پرتو ایکس XRR
با پیشرفت روشهایی در جهت ساخت لایههای نازک و ساختارهای چندلایهای، چنین ساختارهایی کاربردهای گستردهای پیدا کردهاند، بنابراین کنترل دقیق لایههای نازک به منظور ساخت ادوات کارآمد و تکرارپذیر ضروری است. بررسی پارامترهای مربوط به لایهها مانند ضخامت و چگالی آنها به دلیل اثر قابل ملاحظه کیفیت فصل مشترک لایهها روی آنها، ضروری است. در میان آنالیزهای گوناگون برای مطالعه ساختار و مورفولوژی، بازتاب پرتو ایکس (X-Ray Reflectivity - XRR) کاربرد گستردهای در لایههای نازک دارد. این تکنیک، آنالیزی غیرمخرب محسوب میشود که اطلاعاتی در مورد چگالی، ضخامت و زبری سطح و فصل مشترک لایهها ارائه میدهد. مشابه امواج الکترومغناطیس در منطقه مرئی، در طول موجهای پرتو ایکس، با توجه به این که ضریب شکست مواد اندکی کمتر از واحد است؛ بنابراین بازتاب کلی میتواند رخ دهد که همراه با ظاهر شدن فریزها در طیف بازتاب پرتو ایکس است. فاصله میان دو بیشینه در نوسانهایی که در طیف مشاهده میشود، به ضخامت لایه بستگی دارد و زاویه بحرانی به چگالی لایه وابسته است. زبری سطح لایه یا زبری فصل مشترک لایهها نیز با استفاده از سیگنال پسزمینه تعیین میشود. امروزه XRR برای مطالعه محدوده وسیعی از مواد، از ساختارهای چندلایهای در ادوات اپتوالکتریکی تا لایههای نازک برای کاربردهای مغناطیسی، آینههای پرتو ایکس و لایههای پلیمری استفاده میشود.
این مقاله شامل سرفصلهای زیر است:
1- مقدمه
2- اجزای تشکیلدهنده بازتاب سنج پرتو ایکس
3- آمادهسازی نمونه
4- طیف بازتابی پرتو ایکس
5- جمعبندی
لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
