انواع روش‌های میکروسکوپ نیروی الکتروستاتیک و کاربردهای آن
انواع روش‌های میکروسکوپ نیروی الکتروستاتیک و کاربردهای آن
در مقاله گذشته با عنوان « میکروسکوپ نیروی الکتروستاتیک »، به معرفی میکروسکوپ نیروی الکتروستاتیک پرداخته شد.گفته شد میکروسکوپ نیروی الکتروستاتیک (EFM) یکی از اعضاي خانواده میکروسکوپ‌های پروبی روبشی است. در این ميكروسكوپ با اندازه‌گیری برهم‌کنش الکتروستاتیکی موضعي بین نوک سوزن رسانا و نمونه، نقشه ویژگی‌های الکتریکی نمونه به تصویر کشیده می‌شود. برای این منظور، یک ولتاژ بایاس بین نوک سوزن و نمونه اعمال می‌شود. از این ولتاژ برای ایجاد میدان الکتروستاتیک بین نوک سوزن و پایه و نیز برای میزان کردن این میدان استفاده می‌شود. فاز و فرکانس رزونانس تیرک با شیب شدت میدان الکتریکی تغییر کرده و برای ساخت تصویر EFM مورد استفاده قرار می‌گیرد. همچنین EFM می‌تواند برای تشخیص مناطق عایق و رسانا در نمونه استفاده شود. تصاویر EFM حاوی اطلاعات سودمندی درباره خواص الکتریکی نمونه مانند پتانسیل و توزیع بار در سطح نمونه بوده و یک ابزار سودمند برای آزمایش تراشه‌های ریزپردازنده زنده در مقیاس زیر میکرون است. در مقاله حاضر به بررسی انواع روش‌های میکروسکوپ نیروی الکترواستاتیک و کاربردهای آن پرداخته می‌شود.
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- انواع روش‌های EFMa
1-2- میکروسکوپ نیروی الکترواستاتیک استاندارد
2-2- میکروسکوپ نیروی الکترواستاتیک پیشرفته
3-2-میکروسکوپ نیروی الکترواستاتیک EXT
4-2-میکروسکوپ نیروی الکترواستاتیک تماسی دینامیک (DC-EFM)
3- کاربردهای میکروسکوپی نیروی الکترواستاتیک
4- شبکه آزمایشگاهی فناوری راهبردی
5-نتیجه‌گیری
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- انواع روش‌های EFMa
1-2- میکروسکوپ نیروی الکترواستاتیک استاندارد
2-2- میکروسکوپ نیروی الکترواستاتیک پیشرفته
3-2-میکروسکوپ نیروی الکترواستاتیک EXT
4-2-میکروسکوپ نیروی الکترواستاتیک تماسی دینامیک (DC-EFM)
3- کاربردهای میکروسکوپی نیروی الکترواستاتیک
4- شبکه آزمایشگاهی فناوری راهبردی
5-نتیجه‌گیری
جهت دانلود بر روی فایل صوتی کلیک راست کنید و Save As را انتخاب کنید
لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
۱ - M. NakamuraH.Yamada, "Road map of Scanning probe microscopy", 2006, Springer.
۲ - www.parkafm.com "Park Systems, mode note".
۳ - www.eng.utah.edu Lecture 15: "Two special modes for AFM: Electrostatic Force Microscopy (EFM)Magnetic Force Microscopy (MFM)".
۴ - www.amplegoal.com.
۵ - J. Liu, "Phys. Chem." C 2009, 113, 9368-9374.
۶ - L. Chen, L. Brus, et al. J. "Phys. Chem". B 2005, 109, 1834-1838.
۷ - O. Cherniavskaya, L. Brus, el al. J. "Phys. Chem." B 2004, 108, 4946-4961.
۸ - Y. Hirata, F. Mizutani, H. Yokoyama, "Surf. Int. Anal." 27, 317 (1999).
۹ - G. E. Bridges et. al., J. Vac. Sci. "Technol." A 16, 830 (1998).
۱۰ - V. Wittpahl et. al., "Microelectron". Reliab. 39, 951 (1999).
۱۱ - S. Kitamura, K. Suzuki, M. Iwatsuki, "Appl. Surf. Sci." 140, 265 (1999).
۱۲ - N. Satoh et. al. "Appl. Surf. Sci." 188, 425 (2002).
۱۳ - T. Ohta, Y. Sugawara, S. Morita, Jap. J. "Appl. Phys." 35, L1222 (1996).
۱۴ - D. Gekhtman et. al., "Mater. React. Soc. Proc." 545, 345 (1999).
۱۵ - M. Nakamura et. al., "Synth. Metals" 137, 887 (2003).
۱۶ - M. Nakamura et. al., "Appl. Phys. Lett." 86, 122112 (2005).
۱۷ - M. Nakamura et. al., "Proceedings of International Symposium on Super Functionality Organic Devices. IPAP Conference Series" 6, 130 (2005).
۱۸ - فصل نامه شبکه آزمایشگاهی فناوری‌های راهبردی سال 2013 و شماره 3
