اجزا و عملکرد SEM: سیستم روبشگر و آشکارسازها
اجزا و عملکرد SEM: سیستم روبشگر و آشکارسازها
در مقاله قبل بررسی دو مورد از اجزای میکروسکوپ الکترونی روبشی انجام شد. در این مقاله به بررسی برخی دیگر از اجزای این میکروسکوپ پرداخته خواهد شد. SEM یک میکروسکوپ الکترونی روبشی است، بنابراین نیاز است که پرتوی الکترونی بر روی سطح نمونه روبش (حرکت) داده شده و نقاط مختلف آن را بررسی کند. این وظیفه بر عهده سیستم روبشگر در SEM است که از دو سیم پیچ تشکیل شده است. علاوه بر این، به تجیهزاتی نیاز است تا پس از برهم‌کنش پرتوی الکترونی با نمونه، پرتوهای خروجی از آن را به نحوی دریافت، جمع آوری و بررسی کند. این کار توسط آشکارسازها انجام می‌شود. آشکارسازهای اورهارت تورنلی، نیمه‌هادی، رابینسون و درون لنزی از مهمترین آشکارسازها در SEM هستند. سیستم روبشگر و آشکارسازها موضوع مورد بحث این مقاله است.
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- جز سوم SEM: سیستم روبشگر
2- جز چهارم SEM: آشکارسازها
1-2- آشکارساز اورهارت - تورنلی (E-T (Everhart-Thornley
2-2- آشکارسازهای نیمه‌هادی
3-2- آشکارسازهای رابینسون
4-2- آشکارسازهای درون لنزی (Through the Lens (TTL) detectors)
3- بحث و نتیجه‌گیری
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- جز سوم SEM: سیستم روبشگر
2- جز چهارم SEM: آشکارسازها
1-2- آشکارساز اورهارت - تورنلی (E-T (Everhart-Thornley
2-2- آشکارسازهای نیمه‌هادی
3-2- آشکارسازهای رابینسون
4-2- آشکارسازهای درون لنزی (Through the Lens (TTL) detectors)
3- بحث و نتیجه‌گیری
لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
۱ - م. کرباسی،"میکروسکوپ الکترونی روبشی و کاربردهای آن در علوم مختلف و فناوری نانو"،چاپ اول، اصفهان: جهاد دانشگاهی واحد صنعتی اصفهان،(1388).
۲ - چ. پ. پول و ف. ج. اونسز،"مقدمه¬ای بر نانوفناوری"، ترجمه¬ی ن. تقوی¬نیا، چاپ دوم، تهران: مؤسسه انتشارات علمی دانشگاه صنعتی شریف،(1389).
۳ - ی. خرازی و ا. ش. غفور،"ابزار شناسایی ساختار مواد"،چاپ اول، تهران: دانشگاه علم و صنعت ایران،(1380).
۴ - Egerton, R. F., “Physical Principles of Electron Microscopy-an Introduction to TEM, SEM,AEM”, New York: Springer, (2005).
خانی نور
۱۴۰۰/۰۷/۱۸با سلام و عرض ادب و احترام در قسمت نتیجه گیری فرمودید آشکارسازهای نیمه هادی،رابینسون و درون لنزی برای الکترون های برگشتی استفاده می شود. در صورتیکه می دانیم آشکار سازهای اورهارت تورنلی، درون لنزی در حالت خلا بالا و آشکارساز رابینسون در حالت محیطی، برای تصویر برداری الکترون های ثانویه استفاده می شود. تنها آشکارساز مورد استفاده برای الکترون های برگشتی، نیمه هادی می باشد. با تشکر
مدیر سیستم
۱۴۰۰/۰۹/۰۹بررسی و اصلاح شد