آماده‌سازی نمونه برای تصویربرداری TEM با روش FIB
آماده‌سازی نمونه برای تصویربرداری TEM با روش FIB
روش پرتو یونی متمرکز روشی است که برای آماده‌سازی نمونه‌های میکروسکوپ الکترونی عبوری مورد استفاده قرار می‌گیرد. محققان این روش را برای آماده‌سازی نمونه‌ها در حوزه‌های مختلف نظیر نیمه‌هادی‌ها، فلزات، سرامیک، پلیمر و زیستی مورد استفاده قرار می‌دهند. در این مقاله، سازوکار این روش، اجزاء دستگاه و عملکرد آن بررسی شده و همچنین روش‌های آماده‌سازی نمونه با استفاده از FIB، مزایا و معایب هر روش مورد بحث قرار می‌گیرد. در انتها کاربردهای این روش به صورت اجمالی ارائه می‌شود.
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- مروری بر سازوکار و عملکرد پرتو یونی متمرکز
3- کاربردهای FIB در آماده‌سازی نمونه
4- آسیب FIB به نمونه‌ها
5- پیشرفت‌های انجام شده در دستگاه FIB
6- شبکه آزمایشگاهی فناوری راهبردی
7-نتیجه‌گیری
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- مروری بر سازوکار و عملکرد پرتو یونی متمرکز
3- کاربردهای FIB در آماده‌سازی نمونه
4- آسیب FIB به نمونه‌ها
5- پیشرفت‌های انجام شده در دستگاه FIB
6- شبکه آزمایشگاهی فناوری راهبردی
7-نتیجه‌گیری
لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
۱ - Orloff, Jon (1996). "Fundamental s to imaging resolution for focused ion beams". Journal of Vacuum Science & Technology B: MicroelectronicsNanometer Structures 14 (6): 3759
۲ - http://en.wikipedia.org/wiki/Focused_ion_beam
۳ - L.F. Dobrzhinetskaya et al./EarthPlanetary Science Letters 210 (2003) 399-410
۴ - http://edu.nano.ir/index.php/articles/show/105
۵ - فصل نامه شبکه آزمایشگاهی فناوری‌های راهبردی سال 2013 و شماره 4
