11- مقدمه ‌ای بر SEM و برهم‌ کنش پرتوی الکترونی با نمونه

11- مقدمه ‌ای بر SEM و برهم‌ کنش پرتوی الکترونی با نمونه

امروزه روش‌های مختلفی جهت شناسایی و آنالیز مواد وجود دارد که یکی از معروف‌ترین آن‌ها، روش‌های میکروسکوپی است. در این روش‌ها می‌توان تصاویر بزرگنمایی شده از نمونه به دست آورد. میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM که از گروه میکروسکوپ‌های الکترونی است، از معروف‌ترین روش‎های میکروسکوپی به شمار می‌رود که علاوه بر تهیه تصاویر بزرگنمایی شده، در صورتی که به تجهیزات اضافی مجهز شود، می‌تواند برای آنالیز شیمیایی و دیگر بررسی‌ها نیز به کار گرفته شود. مبنای عملکرد این میکروسکوپ، برهم‌کنش پرتوی الکترونی با ماده است. پرتوهای ساطع شده از این برهم‌کنش می‌تواند جهت بررسی‌ها مورد استفاده قرار گیرد.

این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- میکروسکوپ‌های الکترونی
3- میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)
4- برهم‌کنش نمونه و پرتوی الکترونی
 1-4- حجم اندرکنش
5- بحث و نتیجه‌گیری