11- اجزا و عملکرد SEM-تفنگ الکترونی و لنزهای الکترومغناطیس
11- اجزا و عملکرد SEM-تفنگ الکترونی و لنزهای الکترومغناطیس
در مقاله گذشته به معرفی میکروسکوپ الکترونی روبشی به عنوان یکی از روش‌های قدرتمند آنالیز مواد پرداخته شد. در این مقاله و در ادامه بحث، به بررسی اجزا و عملکرد این دسته از میکروسکوپ‌ها پرداخته خواهد شد. به طور کلی SEM دارای شش جز اصلی است که عبارتند از: تفنگ الکترونی، لنزهای الکترومغناطیسی، سیستم روبش، آشکارسازها، سیستم نمایش تصویر و سیستم خلأ. در این بخش دو مورد اول شرح داده خواهند شد. در میکروسکوپ‌های SEM، تفنگ‌های الکترونی جهت تولید پرتوی الکترونی استفاده می‌شوند. این تفنگ‌ها بر مبنای نشر ترمویونیک یا نشر میدانی عمل می‌کنند و از جنس تنگستن یا هگزا براید لانتانم هستند. از آن جا که پرتوی مورد استفاده در SEM از نوع الکترونی است، لنزهای الکترومغناطیس جهت باریک کردن و متمرکز کردن آن‌ها به کار می‌روند. لنزهایی که در SEM استفاده می‌شوند بر دو نوع متمرکزکننده و نهایی هستند که هر یک با هدف خاصی در دستگاه تعبیه می‌شوند.
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- جز اول SEM: تفنگ الکترونی
1-2- تفنگ‌های با فیلامان تنگستنی
2-2- تفنگ‌های با فیلامان لانتانم هگزابراید
3-2- تفنگ‌های نشر میدانی
3- جز دوم SEM: لنزهای الکترومغناطیسی
1-3- لنزهای مغناطیسی متمرکز کننده
2-3- لنز نهایی
4- بحث و نتیجه‌گیری
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- جز اول SEM: تفنگ الکترونی
1-2- تفنگ‌های با فیلامان تنگستنی
2-2- تفنگ‌های با فیلامان لانتانم هگزابراید
3-2- تفنگ‌های نشر میدانی
3- جز دوم SEM: لنزهای الکترومغناطیسی
1-3- لنزهای مغناطیسی متمرکز کننده
2-3- لنز نهایی
4- بحث و نتیجه‌گیری
لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
محمدی
۱۴۰۱/۰۴/۲۳مدیر سیستم
۱۴۰۱/۰۴/۲۷بعضی از مقالات آزمون ندارند سعی شده است برای این دسته مقالات نیز آزمون بارگزاری شود