10- لیتوگرافی باریکه الکترونی
10- لیتوگرافی باریکه الکترونی
در لیتوگرافی نوری از امواج الکترومغناطیس با طول موج مشخص استفاده میشود، به همین دلیل این روش وضوح محدودی داشته و برای لیتوگرافی در مقیاس نانو مناسب نیست. در صورتیکه از باریکه الکترونی به جای امواج الکترومغناطیس استفاده شود، امکان دستیابی به وضوح عالی با تنظیم انرژی پرتوی الکترونی وجود دارد؛ چرا که در این شرایط میتوان طول موج حرکت الکترونها را کاهش داد. در این مقاله، به طور اجمالی به معرفی روش لیتوگرافی با باریکه الکترونی پرداخته شده و عوامل مؤثر بر آن مورد بحث و بررسی قرار میگیرد. سپس انواع روشهای لیتوگرافی با باریکه الکترونی، مانند روش حکاکی مستقیم و روش تابش غیرمستقیم و نیز کاربردها و محدودیتهای این روشها به طور مفصل مورد مطالعه قرار خواهد گرفت.
این مقاله شامل سرفصلهای زیر است:
1- مقدمه
2- انواع لیتوگرافی باریکه الکترونی
1-2- روش حکاکی مستقیم
2-2- روش تابش غیرمستقیم و انتقال طرح
3- کاربردهای روش لیتوگرافی با باریکه الکترونی
4- محدودیتهای روش لیتوگرافی با باریکه الکترونی
نتیجهگیری
این مقاله شامل سرفصلهای زیر است:
1- مقدمه
2- انواع لیتوگرافی باریکه الکترونی
1-2- روش حکاکی مستقیم
2-2- روش تابش غیرمستقیم و انتقال طرح
3- کاربردهای روش لیتوگرافی با باریکه الکترونی
4- محدودیتهای روش لیتوگرافی با باریکه الکترونی
نتیجهگیری
لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
۱ - Mongillo, J. “Nanotechnology 101”, UK, GreenWood Press, (2007).
۲ - Ventra, M.D., Evoy, S., Heflin‚ J.R. “Introduction to Nanoscale ScienceTechnology”, USA, Kluwer Academic Publishers, (2004).
۳ - Wiederrecht, J.P. “Handbook Of Nanofabrication”, Netherlands, Elsevier, (2010).
۴ - Ko¨hler, M., Fritzsche, W. “Nanotechnology An Introduction to Nanostructuring Techniques”, Second Edition, Germany, Wiley-VCH, (2007).
۵ - Hannink, R. H. J., Hill, A.J. “Nanostructure control of materials”, USA, CRC press, (2006).
۶ - Zhang, J.Z., Wang, Z.L., Liu, J., Chen, S., Liu, G.Y. “Self-Assembled Nanostructures”, USA, Kluwer Academic Publishers, (2004).
۷ - Edelstein, A.S., Cammarata, R.C. “Nanomaterials:Synthesis, PropertiesApplications”, USA, Institute of Physics Publishing, (1996).
۸ - Levinson, H.J. “Principles of Lithography”, Third Edition, USA, SPIE Press, (2010).
