10- سیستم های تصویرسازی و خلأ و خطاها در میکروسکوپ الکترونی روبشی
10- سیستم های تصویرسازی و خلأ و خطاها در میکروسکوپ الکترونی روبشی
پس از جمع‌آوری پرتوهای نشر شده از نمونه توسط آشکارسازها، نوبت به تشکیل تصویر با استفاده از آن‌ها می‌رسد. این کار وظیفه سیستم تصویرسازی است. علاوه بر این، یک بخش مهم میکروسکوپ، سیستم خلأ آن است. ستون میکروسکوپ به دلایل مختلفی باید به خلأ کافی برسد که این کار توسط پمپ‌های مربوطه انجام می‌شود. همچنین یکی از موضوعات مهم در میکروسکوپ‌ها، خطاهایی است که باعث می‌شوند تصویر، از آن چه که از نظر تئوری انتظار می‌رود، انحراف داشته باشد. سیستم تصویرسازی، سیستم خلأ و خطاهای موجود در دستگاه SEM در ادامه شرح داده خواهند شد.
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- جزء پنجم SEM: سیستم تصویرسازی
2- جز ششم SEM: سیستم خلأ
1-2- پمپ‌های مکانیکی چرخشی
2-2- پمپ‌های نفوذی
3-2- پمپ‌های توربومولکولی
3- خطاهای لنزهای الکترونی
1-3- خطای کروی
2-3- خطای رنگی
3-3- آستیگماتیسم
4- بحث و نتیجه‌گیری
این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- جزء پنجم SEM: سیستم تصویرسازی
2- جز ششم SEM: سیستم خلأ
1-2- پمپ‌های مکانیکی چرخشی
2-2- پمپ‌های نفوذی
3-2- پمپ‌های توربومولکولی
3- خطاهای لنزهای الکترونی
1-3- خطای کروی
2-3- خطای رنگی
3-3- آستیگماتیسم
4- بحث و نتیجه‌گیری
لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
۱ - م. کرباسی،"میکروسکوپ الکترونی روبشی و کاربردهای آن در علوم مختلف و فناوری نانو"،چاپ اول، اصفهان: جهاد دانشگاهی واحد صنعتی اصفهان،(1388).
۲ - ی. خرازی و ا. ش. غفور،"ابزار شناسایی ساختار مواد"،چاپ اول، تهران: دانشگاه علم و صنعت ایران،(1380).
۳ - Egerton, R. F., “Physical Principles of Electron Microscopy-an Introduction to TEM, SEM,AEM”, New York: Springer, (2005).
۴ - پ. مرعشی، س. کاویانی، ح. سرپولکی و ع. ذوالفقاری،"اصول و کاربرد میکروسکوپ¬های الکترونی و روش¬های نوین آنالیز - ابزار شناسایی دنیای نانو"،ویرایش دوم. چاپ دوم، تهران: دانشگاه علم و صنعت ایران،(1389).
۵ - Goodhew, P. J., Humphreys, J., Beanland, R., “Electron MicroscopyAnalysis”, 3rd Edition. London: Taylor & Francis, (2001).
