10- بیضی سنجی
10- بیضی سنجی
بیضیسنجی (Ellipsometry) روشی نوری است که برای مطالعه و بررسی لایههای نازک، ویژگیهای نوری (ضریب شکست، ضریب جذب و توابع دیالکتریک) سطوح و فصل مشترک مواد استفاده میشود و میتوان با استفاده از آن، ضخامت، مورفولوژی، یکنواختی سطح، ریختشناسی (morphology)، کیفیت بلور، ترکیب شیمیایی و رسانایی مواد را ارزیابی کرد. در بیضیسنجی، معمولاً شکست نور بررسی میشود و ویژگیهایی مانند ضخامت نمونه، ضریب شکست و ویژگیهای دی الکتریک، موجب تغییرات در حالت نور قطبیده میشود. در بیضیسنجی تغییراتی که نور قطبیده پس از بازتاب یا عبور متحمل میشود، مورد مطالعه قرار میگیرد که با بررسی تغییرات قطبش نور بازتاب شده از نمونه، میتوان در مورد لایههایی که ضخامت کمتر از طول موج نور دارند، اطلاعاتی مانند ترکیب شیمیایی و رسانایی را نیز به دست آورد.
این مقاله شامل سرفصلهای زیر است:
1- مقدمه
2- اساس کار بیضیسنجی
3- انواع دستگاههای بیضیسنج و کاربردهای آنها
4- نمونههای مورد مطالعه در بیضیسنج
5- کاربردهای بیضیسنجی
این مقاله شامل سرفصلهای زیر است:
1- مقدمه
2- اساس کار بیضیسنجی
3- انواع دستگاههای بیضیسنج و کاربردهای آنها
4- نمونههای مورد مطالعه در بیضیسنج
5- کاربردهای بیضیسنجی
لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
۱ - .R. M. A. AzzamN. M. Bashara, EllipsometryPolarized Light, Elsevier Science Pub Co (1987) ISBN 0-444-87016-4.
۲ - H.G. Tompkins, spectroscopic ellipsometry andreflectometry, John Wileysons Inc (1999).
