11- مقدمه ای بر روش نانولیتوگرافی

11- مقدمه ای بر روش نانولیتوگرافی
سطح مقاله

پیشرفته 1
کلمات کلیدی

مسابقه ملی فناوری نانو
امتیاز کاربران

۴ امتیاز از ۵ (۸ رای)

 
 
آمار مقاله

  • بازدید کل ۶۷,۹۲۷
 
آمار آزمون مقاله

  • کل شرکت کنندگان ۱۳۶۴
  • تعداد افراد شرکت کننده ۱۶۷
 
 

11- مقدمه ای بر روش نانولیتوگرافی

با پیشرفت روزافزون فناوری، ساخت و توسعه ابزارهای الکترونیکی با ابعاد کوچک‌تر، سرعت بالاتر، خواص مطلوب‌تر و کارایی بهتر نیز بهبود یافته است. در این راستا، کار‌های تحقیقاتی فراوانی برای توسعه روش‌های ساخت مبتنی بر فناوری نانو انجام شده است. لیتوگرافی یکی از روش‌­های متداول برای ساخت مدارهای الکترونیکی است. این روش با گسترش ابزارهایی مانند میکروسکوپ­‎های الکترونی و میکروسکوپ‌های پروب روبشی توسعه یافته است، به‌طوری‌که امروزه می‌توان با استفاده از آن ساختارهایی با ابعاد 10 نانومتر با دقت و کیفیت بالا تولید کرد. محققان می‌کوشند تا با تجاری‌سازی و تولید انبوه تجهیزات نوین لیتوگرافی هزینه تولید قطعات را کاهش دهند. در این مقاله به مباحث پایه و معرفی کلی انواع روش‌های لیتوگرافی پرداخته می‌شود. همچنین روش لیتوگرافی نوری به عنوان منداول‌ترین روش سنتی تشریح شده و معایب و مزایای آن در مقایسه با روش‌های دیگر لیتوگرافی مورد بررسی قرار می‌گیرد. 

این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- معرفی لیتوگرافی
3- تقسیم­‎بندی روش‎­های لیتوگرافی
1-3- لیتوگرافی نوری
2-3- محدودیت لیتوگرافی نوری
4-  توسعه روش‎­های لیتوگرافی
5- نتیجه‌­گیری


لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
 

منابـــع و مراجــــع
۱ - Edelstein, A.S., Cammarata, R.C. “Nanomaterials:Synthesis, PropertiesApplications”, USA, Institute of Physics Publishing, (1996).
۲ - Guo, Z., Tan, L. “FundamentalsApplications of Nanomaterials”, USA, Artech House, (2009).
۳ - Pradeep, T. “Nano: The Essential”, New Delhi, Tata McGraw-Hill Publishing Company, (2007).
۴ - Hannink, R. H. J., Hill, A.J. “Nanostructure control of materials”, USA, CRC press, (2006).
۵ - Geckeler, K.E., Nishide, H. “Advanced Nanomaterials”, VOL.1, UK, WILEY-VCH Verlag GmbH & Co., (2010).
۶ - Yang, L., Akhatov, I., Mahinfalah, M., Jang Z.B. “Nano-Fabrication: A Review”, Journal of the Chinese Institute of Engineers, VOL.30, No.3, pp. 441-446 (2007).
۷ - Levinson, H.J. “Principles of Lithography”, Third Edition, USA, SPIE Press, (2010).
ارسال نظر

 
تعداد نظرات : ۲

  • ایزدی

    ۱۴۰۱/۰۴/۰۹
    با سلام امکان دارد بفرمایید موارد ذکر شده در جدول 1 کدام جزو لیتوگرافی حکاکی سری هستند و کدام یک جزو لیتوگرافی همانند سازی موازی؟

    مدیر سیستم

    ۱۴۰۱/۰۴/۰۹
    سلام
    روش­‌های همانند‌سازی موازی شامل روش‌های لیتوگرافی نوری، چاپ تماسی و لیتوگرافی مُهر نانویی می‌شود که با توجه به جدول داخل متن لیتوگرافی نوری (چاپ تماسی و مجاورتی)، لیتوگرافی مهر نانویی می باشد
     
  • ایزدی

    ۱۴۰۱/۰۴/۰۹
    توی قسمت تقسیم بندی روش های لیتوگرافی، پاراگراف آخر گفته که روش های همانند سازی موازی شامل لیتوگرافی نوری، چاپ تماسی و..... سوالم اینه که چاپ تماسی که یه روش از لیت.گرافی نوری هست چرا جدا شده از لیتو گرافی نوری؟ مگه همه روش های لیتو گرافی نوری همانند سازی نیستن؟

    مدیر سیستم

    ۱۴۰۱/۰۴/۰۹
    سلام
    روش­‌های همانند‌سازی موازی شامل روش‌های لیتوگرافی نوری، چاپ تماسی و لیتوگرافی مُهر نانویی می‌شود که با توجه به جدول داخل متن لیتوگرافی نوری (چاپ تماسی و مجاورتی،چاپ پرتو افکنی)، لیتوگرافی مهر نانویی می باشد