بیضی سنجی

بیضی سنجی
سطح مقاله

پیشرفته 1
کلمات کلیدی

لایه نازک
بیضی سنجی
امتیاز کاربران

امتیاز از ۵ (۰ رای)

 
 
آمار مقاله

  • بازدید کل ۸,۶۸۰
 
آمار آزمون مقاله

  • کل شرکت کنندگان ۴۰
  • تعداد افراد شرکت کننده ۶
 
 

بیضی سنجی

بیضی‌سنجی (Ellipsometry) روشی نوری است که برای مطالعه و بررسی لایه‌های نازک، ویژگی‌های نوری (ضریب شکست، ضریب جذب و توابع دی‌الکتریک) سطوح و فصل مشترک مواد استفاده می‌شود و می‌توان با استفاده از آن، ضخامت، مورفولوژی، یکنواختی سطح، ریخت‌شناسی (morphology)، کیفیت بلور، ترکیب شیمیایی و رسانایی مواد را ارزیابی کرد. در بیضی‌سنجی، معمولاً شکست نور بررسی می‌شود و ویژگی‌هایی مانند ضخامت نمونه، ضریب شکست و ویژگی‌های دی الکتریک، موجب تغییرات در حالت نور قطبیده می‌شود. در بیضی‌سنجی تغییراتی که نور قطبیده پس از بازتاب یا عبور متحمل می‌شود، مورد مطالعه قرار می‌گیرد که با بررسی تغییرات قطبش نور بازتاب شده از نمونه، می‌توان در مورد لایه‌هایی که ضخامت کمتر از طول موج نور دارند، اطلاعاتی مانند ترکیب شیمیایی و رسانایی را نیز به دست آورد.

این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- اساس کار بیضی‌سنجی
3- انواع دستگاه‌های بیضی‌سنج و کاربردهای آن‌ها
4- نمونه‌های مورد مطالعه در بیضی‌سنج
5- کاربردهای بیضی‌سنجی


لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
۱ - R. M. A. AzzamN. M. Bashara, EllipsometryPolarized Light, Elsevier Science Pub Co (1987) ISBN 0-444-87016-4.
۲ - H.G. Tompkins, spectroscopic ellipsometry andreflectometry, John Wileysons Inc (1999).
ارسال نظر

 
تعداد نظرات : ۱

  • فرمانی کیا

    ۱۳۹۹/۱۲/۲۰
    Ellipsometry به معنای بیضوی سنجی است نه بیضی سنجی.

    مدیر سیستم

    ۱۴۰۰/۰۴/۰۲
    با سلام
    بیضی سنجی برگردان فارسی متداول برای روش Ellipsometery در منابع علمی فارسی است.
    موفق باشید