رسوب ‌دهی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما PECVD

رسوب ‌دهی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما PECVD
سطح مقاله

پیشرفته 1
کلمات کلیدی

پلاسما
امتیاز کاربران

امتیاز از ۵ (۰ رای)

 
 
آمار مقاله

  • بازدید کل ۳,۷۶۸
 
آمار آزمون مقاله

  • کل شرکت کنندگان ۷۶
  • تعداد افراد شرکت کننده ۱۱
 
 

رسوب ‌دهی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما PECVD

همچون سایر روش‌های رسوب‌دهی شیمیایی از فاز بخار (CVD)، رسوب‌دهی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (PECVD) فرایندی برای لایه‌نشانی (رسوب‌دهی) فیلم‌های نازک از یک ماده در حالت گاز (بخار) بر روی یک بستر است. در این فرآیند، با کمک تشکیل پلاسما (بیشتر تحت عنوان پلاسمای سرد شناخته می‌شود) در محفظه لایه‌نشانی، دمای کلی برای انجام فرآیند پایین می‌آید (به اعمال دمایی کمتر از دمای فرآیندهای ترموشیمی معمول نیاز است). از طرفی برخلاف روش‌های رسوب‌دهی فیزیکی از فاز بخار PVD (شامل روش کندوپاش و نهشت یونی –Ion Plating-...)، در طی فرایند PECVD واکنش‌های شیمیایی انجام می‌پذیرند. پلاسما معمولاً با تخلیه الکتریکی بین دو الکترود ایجاد می‌شود که فضای بین آن‌ها با گازهای واکنش‌دهنده پر شده‌ است. پلاسما می‌تواند با جریان مستقیم یا با فرکانس رادیویی یا جریان متناوب به وجود آید. از مهم‎ترین کاربردهای PECVD می‌توان به لایه‌نشانی مدارهای مجتمع و همچنین سطوح اپتوالکترونیکی (زمانی که استفاده از دمای بالا در راکتور ناممکن است) اشاره کرد.

این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- پلاسما
 1-2- پلاسمای تولید شده با تخلیه الکتریکی (جریان مستقیم و جریان متناوب)
3- راکتورهای مورد استفاده در رسوب‌دهی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما
4- کاربردهای رسوب‌دهی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما
5- نتیجه‎گیری



لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
۱ - H O. Pierson, "handbook of chemical vapor deposition (CVD) principles, technology,applications", 2th Ed, Noyes publications Park Ridge, New Jersey, U.S.A, 2001.
۲ - A. Sherman, "Chemical Vapor Deposition for Microelectronics", Reprint Ed, Noyes publications, New Jersey, U.S.A, 1987.
۳ - Bachmann, P. K., Gärtner, G., & Lydtin, H. "Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition Processes". MRS Bulletin, 13(12), 1988, 52-59.
۴ - Pfohl, C., Rie, K. T., Hirschfeld, M. K., & Schultze, J. W. "Evaluation of the corrosion behaviour of wear-resistant PACVD coatings". SurfaceCoatings Technology, 112(1), 1999, 114-117.
۵ - Thorpe, M. "Plasma energy: The ultimate in heat transfer." Chemical engineering progress 85, 1989, 43-53.
ارسال نظر