مقدمه ای بر روش نانولیتوگرافی

مقدمه ای بر روش نانولیتوگرافی
سطح مقاله

پیشرفته 1
کلمات کلیدی

لیتوگرافی
امتیاز کاربران

۴ امتیاز از ۵ (۵ رای)

 
 
آمار مقاله

  • بازدید کل ۷,۷۳۷
 
آمار آزمون مقاله

  • کل شرکت کنندگان ۱۱۳
  • تعداد افراد شرکت کننده ۱۷
 
 

مقدمه ای بر روش نانولیتوگرافی

با پیشرفت روزافزون فناوری، ساخت و توسعه ابزارهای الکترونیکی با ابعاد کوچک‌تر، سرعت بالاتر، خواص مطلوب‌تر و کارایی بهتر نیز بهبود یافته است. در این راستا، کار‌های تحقیقاتی فراوانی برای توسعه روش‌های ساخت مبتنی بر فناوری نانو انجام شده است. لیتوگرافی یکی از روش‌­های متداول برای ساخت مدارهای الکترونیکی است. این روش با گسترش ابزارهایی مانند میکروسکوپ­‎های الکترونی و میکروسکوپ‌های پروب روبشی توسعه یافته است، به‌طوری‌که امروزه می‌توان با استفاده از آن ساختارهایی با ابعاد 10 نانومتر با دقت و کیفیت بالا تولید کرد. محققان می‌کوشند تا با تجاری‌سازی و تولید انبوه تجهیزات نوین لیتوگرافی هزینه تولید قطعات را کاهش دهند. در این مقاله به مباحث پایه و معرفی کلی انواع روش‌های لیتوگرافی پرداخته می‌شود. همچنین روش لیتوگرافی نوری به عنوان متداول‌ترین روش سنتی تشریح شده و معایب و مزایای آن در مقایسه با روش‌های دیگر لیتوگرافی مورد بررسی قرار می‌گیرد. 

این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- معرفی لیتوگرافی
3- تقسیم­‎بندی روش‎­های لیتوگرافی
1-3- لیتوگرافی نوری
2-3- محدودیت لیتوگرافی نوری
4-  توسعه روش‎­های لیتوگرافی
5- نتیجه‌­گیری


لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
۱ - Edelstein, A.S., Cammarata, R.C. “Nanomaterials:Synthesis, PropertiesApplications”, USA, Institute of Physics Publishing, (1996).
۲ - Guo, Z., Tan, L. “FundamentalsApplications of Nanomaterials”, USA, Artech House, (2009).
۳ - Pradeep, T. “Nano: The Essential”, New Delhi, Tata McGraw-Hill Publishing Company, (2007).
۴ - Hannink, R. H. J., Hill, A.J. “Nanostructure control of materials”, USA, CRC press, (2006).
۵ - Geckeler, K.E., Nishide, H. “Advanced Nanomaterials”, VOL.1, UK, WILEY-VCH Verlag GmbH & Co., (2010).
۶ - Yang, L., Akhatov, I., Mahinfalah, M., Jang Z.B. “Nano-Fabrication: A Review”, Journal of the Chinese Institute of Engineers, VOL.30, No.3, pp. 441-446 (2007).
۷ - Levinson, H.J. “Principles of Lithography”, Third Edition, USA, SPIE Press, (2010).
ارسال نظر

 
تعداد نظرات : ۱

  • اللهی

    ۱۴۰۰/۰۷/۲۱
    سلام بسیار خوب ولی منابع مقاله آورده نشده. این کار برای استفاده بیشتر محققان لازم وضروری است. متشکرم