مقدمه ای بر روش نانولیتوگرافی

مقدمه ای بر روش نانولیتوگرافی
سطح مقاله

پیشرفته 1
کلمات کلیدی

لیتوگرافی
امتیاز کاربران

۴ امتیاز از ۵ (۳ رای)

 
 
آمار مقاله

  • بازدید کل ۱,۵۹۱
 
آمار آزمون مقاله

  • کل شرکت کنندگان ۵۰
  • تعداد افراد شرکت کننده ۸
 
 

مقدمه ای بر روش نانولیتوگرافی

با پیشرفت روزافزون فناوری، ساخت و توسعه ابزارهای الکترونیکی با ابعاد کوچک‌تر، سرعت بالاتر، خواص مطلوب‌تر و کارایی بهتر نیز بهبود یافته است. در این راستا، کار‌های تحقیقاتی فراوانی برای توسعه روش‌های ساخت مبتنی بر فناوری نانو انجام شده است. لیتوگرافی یکی از روش‌­های متداول برای ساخت مدارهای الکترونیکی است. این روش با گسترش ابزارهایی مانند میکروسکوپ­‎های الکترونی و میکروسکوپ‌های پروب روبشی توسعه یافته است، به‌طوری‌که امروزه می‌توان با استفاده از آن ساختارهایی با ابعاد 10 نانومتر با دقت و کیفیت بالا تولید کرد. محققان می‌کوشند تا با تجاری‌سازی و تولید انبوه تجهیزات نوین لیتوگرافی هزینه تولید قطعات را کاهش دهند. در این مقاله به مباحث پایه و معرفی کلی انواع روش‌های لیتوگرافی پرداخته می‌شود. همچنین روش لیتوگرافی نوری به عنوان متداول‌ترین روش سنتی تشریح شده و معایب و مزایای آن در مقایسه با روش‌های دیگر لیتوگرافی مورد بررسی قرار می‌گیرد. 

این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- معرفی لیتوگرافی
3- تقسیم­‎بندی روش‎­های لیتوگرافی
1-3- لیتوگرافی نوری
2-3- محدودیت لیتوگرافی نوری
4-  توسعه روش‎­های لیتوگرافی
5- نتیجه‌­گیری


لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
ارسال نظر