بازتاب‌ سنج پرتو ایکس XRR

بازتاب‌ سنج پرتو ایکس XRR
سطح مقاله

پیشرفته 1
کلمات کلیدی

مطالعه زبری سطح لایه های نازک
امتیاز کاربران

امتیاز از ۵ (۰ رای)

 
مقالات مرتبط

 
آمار مقاله

  • بازدید کل ۷۴۷
 
آمار آزمون مقاله

  • کل شرکت کنندگان ۳۲
  • تعداد افراد شرکت کننده ۳
 
 

بازتاب‌ سنج پرتو ایکس XRR

با پیشرفت روش‎هایی در جهت ساخت لایه‎های نازک و ساختارهای چندلایه‎ای، چنین ساختارهایی کاربردهای گسترده‎ای پیدا کرده‎اند، بنابراین کنترل دقیق لایه‎های نازک به منظور ساخت ادوات کارآمد و تکرارپذیر ضروری است. بررسی پارامترهای مربوط به لایه‎ها مانند ضخامت و چگالی آن‎ها به دلیل اثر قابل ملاحظه کیفیت فصل مشترک لایه‎ها روی آن‎ها، ضروری است. در میان آنالیزهای گوناگون برای مطالعه ساختار و مورفولوژی، بازتاب پرتو ایکس (X-Ray Reflectivity - XRR) کاربرد گسترده‎ای در لایه‎های نازک دارد. این تکنیک، آنالیزی غیرمخرب محسوب می‎شود که اطلاعاتی در مورد چگالی، ضخامت و زبری سطح و فصل مشترک لایه‎ها ارائه می‎دهد. مشابه امواج الکترومغناطیس در منطقه مرئی، در طول موج‎های پرتو ایکس، با توجه به این که ضریب شکست مواد اندکی کمتر از واحد است؛ بنابراین بازتاب کلی می‎تواند رخ دهد که همراه با ظاهر شدن فریزها در طیف بازتاب پرتو ایکس است. فاصله میان دو بیشینه در نوسان‎هایی که در طیف مشاهده می‎شود، به ضخامت لایه بستگی دارد و زاویه بحرانی به چگالی لایه وابسته است. زبری سطح لایه یا زبری فصل مشترک لایه‎ها نیز با استفاده از سیگنال پس‎زمینه تعیین می‎شود. امروزه XRR برای مطالعه محدوده وسیعی از مواد، از ساختارهای چندلایه‎ای در ادوات اپتوالکتریکی تا لایه‎های نازک برای کاربردهای مغناطیسی، آینه‎های پرتو ایکس و لایه‎های پلیمری استفاده می‎شود.

این مقاله شامل سرفصل‌های زیر است:
1- مقدمه
2- اجزای تشکیل‎دهنده بازتاب سنج پرتو ایکس
3- آماده‎سازی نمونه
4- طیف بازتابی پرتو ایکس
5- جمع‎بندی



لطفا برای مشاهده متن کامل مقاله ابتدا وارد سایت شوید
منابـــع و مراجــــع
۱ - Daillant, J., Gibaud, A. “X-rayNeutron Reflectivity: PrinciplesApplications” 1st Edition, Springer (2008)
۲ - Tidswelli . M., Ockob .M., Pershapn. S., Wassermans . R., Whitesidesg .M.Axe J. D., Phys. Rev. B, 41 (1990) 1111.
۳ - Matyi, R.J., Hatzistergos, M.S.,Lifshin, E. “X-ray reflectometry analyses of chromium thin films”, Thin Solid Films, 515 (2006) 1286.
ارسال نظر